真空磚機真空泵的選用真空泵時(shí)需要注意事項:
1 、真空泵的工作壓強應該滿(mǎn)足真空磚機設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要1×10—5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要 5×10—6mn1Hg 。通常選擇泵的真空度要高于真空磚機設備真空度半個(gè)到一個(gè)數量級。
2 、正確地選擇真空磚機真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10一3~10一7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為5x10一4一5×10一6mmHg 。因而,泵的工作點(diǎn)應該選在這個(gè)范圍之內,而不能讓它在10一8mmHg下長(cháng)期工作。
3 、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空磚機設備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4 、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。 5 、真空磚機設備對油污染的要求。若磚機設備嚴格要求無(wú)油時(shí),應該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
6 、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆粒灰塵,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
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